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無塵烤箱廠家 烘箱設備

無塵烤箱廠家 烘箱設備

簡要描述:

無塵烤箱廠家無塵等級:Class 100、10; 溫度范圍:RT+10~300℃;用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤

無塵烤箱廠家

維護保養(yǎng)

1. 檢查通風口是否堵塞,并清理積塵。

2. 風機運轉(zhuǎn)是否正常。

3. 維修工檢查電流是否正常。

4. 檢查溫控器是否準確,如不準確,請調(diào)整溫控器的靜態(tài)補償或傳感器修正值。

5. 檢查發(fā)熱管有無損壞,線路是否老化。

6. 檢查延時器是否準確,誤差是否允許。

。

無塵烤箱廠家應用

用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

技術指標

無塵等級:Class 100、10;     

溫度范圍:RT+10~300℃;

溫度均勻度:±2℃;    

溫度波動度:±0.5℃(空載)        

溫控精度:±0.1℃;        

工作室尺寸:W1600×D1600×H1000(mm)  (可定做)   

電源:380v , 50Hz,6KW    

網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))

無塵等級:Class 100、10;     溫度范圍:RT+10~300℃;用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。

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