潔凈烘箱在集成電路制造中的用途
更新時(shí)間:2022-05-07 點(diǎn)擊次數(shù):2964次
集成電路封裝:指安裝集成電路芯片用的外殼。它不僅起著安裝、固定、密封、保護(hù)芯片及增強(qiáng)電熱性能等方面的作用,而且還通過芯片上的接點(diǎn)用導(dǎo)線連接到封裝外殼的引腳上,這些引腳又通過印刷電路板上的導(dǎo)線與其他器件相連接。
集成電路測試:指通過目檢或物理測試方式,檢查封裝后產(chǎn)品的外觀、電氣特性、可靠性、運(yùn)行速度等。
然而在集成電路封裝、測試工藝流程中潔凈烘箱的是比不可少的生產(chǎn)設(shè)備,其中以下工藝段中需要潔凈烘箱設(shè)備。
裝片固化(銀膠固化烘箱):將裝片完成后的框架送入前道烘箱,關(guān)閉倉門,通入氮?dú)猓缓箝_啟烘箱電源,使箱內(nèi)溫度提升至 175℃,固化時(shí)間持續(xù)約 1 小時(shí),從而使裝片時(shí)使用的導(dǎo)電銀膠固化。
塑封固化:注塑完成后,工件轉(zhuǎn)移至固化加熱爐,采用電加熱的方式對其進(jìn)行保溫固化,固化溫度維持在 175℃,固化時(shí)間為 8 小時(shí)。塑封固化的主要作用是消除塑封料內(nèi)部的應(yīng)力。
潔凈烘箱
潔凈烘箱,百級潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
潔凈烘箱技術(shù)性能
潔凈等級:Class 100;
溫度范圍:RT+10~250/450℃;
溫度均勻度:±1.5%℃;
溫度波動(dòng)度:±1℃(空載);
溫控精度:0.1℃;
內(nèi)腔尺寸:600*600*500(mm),可定制尺寸、多箱體一體式;